歩留まり向上
半導体製造工程にイノベーションと信頼性を
半導体用途の成功事例
ビクトレックスのポリマー・ソリューションは半導体製造工程においてパーティクル発生、揮発性汚染ガスを低減させることで生産性、信頼性の向上およびリスクの低減に寄与します。
Fast Facts
PPSより耐用期間を50%延長
VICTREX PEEK製のCMPリングは、PPSの約2倍の耐摩耗性によってダウンタイム短縮とスループット向上をもたらし、半導体製造工場の生産性を最大3%向上させた実績があります。
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プロセスの迅速化
連続使用温度260°C（500°F）および攻撃性の強い化学薬品下の製造工程でも使用可能 - これは半導体製造工程のウエハ冷却時間の短縮に応用でき、各プロセスの迅速化を可能にします。
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生産歩留まり向上
パーティクル発生、揮発性汚染ガス、汚染性イオン排出の低減により生産歩留まり向上に寄与。
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汚染管理
FM4910準拠のVICTREX™ PEEK材料は、クリーンルーム環境の清浄度を損なう可能性のある粒子やその他の物質の放出を最小限に抑えるように設計されています。
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PEEKポリマーのナンバーワン・エキスパート
ビクトレックスは世界で初めてPEEKの商品化に成功して以来、この分野における比類なき専門技術とノウハウをもとにお客様の生産性向上に貢献する数々のポリマー・ソリューションを提供して参りました。
半導体製造工程にさらなる信頼性と生産性向上を
VICTREX PEEK製のCMPリテーナーリング採用
= メンテナンスに要するダウンタイム短縮
= スループット増加
優れた耐摩耗性によりVICTREX PEEK製CMPリテーナーリングはPPS製に比べて最大2倍の期間使用でき、ダウンタイムが短縮できるのでスループットが向上ができます。
FOUPおよびウエハー・キャリアの信頼性向上
耐摩耗性・耐薬品性、寸法安定性、ESD、低アウトガスをはじめとするVICTREX PEEKポリマーの物性によって微粒子コンタミを防ぎ、高い信頼性をもつウエハ移送と保管ができます。
レチクルの損壊・汚染を最小限に
VICTREX PEEKによって、低アウトガスでイオン性コンタミのない環境でのレチクル保管ができます。
ファブ向け材料ソリューション
半導体産業におけるチップ生産量と製品出荷までの時間短縮の競争は激しさを増しています。VICTREX PEEKはCMPリテーナーリング、RSP、EUVポッド、FOUP、ウエハ・キャリア、テストソケットなど多くの用途において採用実績があります。
APTIVフィルムのメリット
VICTREX PEEKの全てのメリットを薄フィルムにしたAPTIVフィルムは半導体および薄型ディスプレイ製造において、ウエハ・キャリア、輸送用テープなどに応用可能です。
