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Weitere Anwendungen
Verschiebung der Grenzen von Fertigungsanlagen für größere Zuverlässigkeit und Produktivität
Weniger Ausfallzeiten für die Wartung bedeuten mehr Durchsatz mit VICTREX PEEK CMP-Halteringen
Dank ihrer hohen Verschleißbeständigkeit halten CMP-Halteringe aus VICTREX PEEK bis zu zweimal länger als PPS, bis ein Austausch erforderlich wird. So werden Ausfallzeiten reduziert und der Durchsatz gesteigert.
Zuverlässige Leistung in FOUPs und Waferträgern
VICTREX PEEK-Polymere besitzen Eigenschaften wie Verschleiß- und Chemikalienbeständigkeit, Dimensionsstabilität, ESD und niedrige Ausgasung. Damit lässt sich die Kontaminierung mit Partikeln verhindern und größere Zuverlässigkeit bei Handhabung, Lagerung und Transport der Wafer erzielen.
Weniger Beschädigung und Kontaminierung von Fotomasken
Dank VICTREX PEEK lassen sich Fotomasken in einer Umgebung mit geringer Ausgasung und ionischer Verunreinigung lagern.
